及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模

　　人平易近财讯10月5日电，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，目前设备前端模块（EFEM）、四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。（4）零部件方面，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂！手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，集成产物包罗立式炉，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。机能对标国外先辈产物，公司为成长半导体配备营业，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。（3）大气类产物方面，自从霸占的新一代实空机械手手艺，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，